Fluoropolymer Fittings

フッ素樹脂継手|フロウエル

株式会社フロウエルの正規代理店として、半導体製造装置や分析機器の配管に使うフッ素樹脂継手を取り扱っています。チューブを差し込んでナットを締めるだけの30シリーズから、液溜まりを抑えたフレア継手、継ぎ目を残さない溶着継手まで、接続方式の異なるシリーズを揃えました。薬液の種類と温度、チューブ外径の3つが分かれば、合う方式の絞り込みからお手伝いいたします。

フロウエル 正規代理店 高い耐薬品性 ミリとインチに対応 フレア継手と溶着継手 他メーカーからの置き換え

フッ素樹脂継手

取扱概要

フッ素樹脂継手は主に株式会社フロウエルの商品を取扱っています、弊社は正規代理店です。
フロウエルは、耐食性に優れたフッ素樹脂やステンレスを材料に、継手やバルブ、フィルターといった小型の流体機器部品をつくるメーカーです。品質マネジメントの国際規格であるISO 9001の登録範囲もフッ素樹脂継手の設計・開発、製造で、継手を中心に製品を展開してきました。フッ素樹脂チューブも同じメーカーで揃うため、チューブと継手の組み合わせを1社の資料で確かめられるのもメリットのひとつ。

フッ素樹脂継手 30シリーズ

フッ素樹脂継手 30シリーズ

フレア継手 60シリーズ

フレア継手 60シリーズ

溶着継手 70シリーズ

溶着継手 70シリーズ

特徴

ボディとナットはともにフッ素樹脂製。薬液が流れる配管にも、材質を気にせず組み込めます。30シリーズはミリ近似のインチと共用でき、6ミリと1/4インチのように1つの継手で両方のチューブを受けられるのが利点。特殊工具は使わず、スパナでナットを規定回数締め付ければ施工は完了です。製品はクリーンルーム内で超純水洗浄したうえで包装され、清浄な状態で届きます。

メーカー

株式会社フロウエル

フッ素樹脂継手のラインアップ

シリーズの違いは、チューブをどう固定してどこでシールするかにあります。施工の手軽さを取るか、液置換性や耐熱性を取るか。その優先順位で、選ぶシリーズが分かれます。

テーパー収縮シール

30シリーズ

ボディの外側をテーパー形状にしたスタンダードな継手で、チューブを差し込みナットで締め付けるだけで高いシール性が得られます。特殊治具が要らないので、装置の組立現場でもその場で施工できるのが強み。φ1/16インチと2mmの極細径チューブに対応したタイプもあり、細い流路の多い分析機器にも組み込める点は見逃せません。

最高使用温度
100℃
適用チューブ
φ3mm〜φ13mm、φ1/8″〜φ1/2″
施工
スパナのみ

フレアーシール

60シリーズ

ボディ先端とナット内側にテーパー加工を施し、フレア加工したチューブを挟み込んでシールします。液溜まりと涙漏れを抑えた構造で、増し締めも要りません。CMPスラリーの凝集、フォトレジストの発泡やゲル化、エッチング液や剥離液の涙漏れなど、半導体の薬液ラインで起きやすい不具合への対策として選ばれている継手です。

最高使用温度
100℃
適用チューブ
φ3mm〜φ25mm、φ1/8″〜φ1″
施工
専用治具でコールドまたはホットフレア

フレア+インナーリング

80シリーズ

フレアしたチューブの内側にインナーリングを入れ、形状を保ったまま締め付ける構造です。インナーリングが液に触れないため、配管内のパーティクルを減らせます。最高使用温度は230℃。高温の薬液ラインでも引き抜きや漏れに強く、コントロールリングで締付け量を管理できるので、作業者による仕上がりの差も出にくい設計です。

最高使用温度
230℃
施工
専用治具でリング挿入

インナーリング

20・20Aシリーズ

チューブの内径にリングを挿入して固定するため、高温や高圧の条件でもチューブが抜けません。繰り返し脱着できるので、メンテナンスで配管を外す箇所にも向いています。20Aシリーズはリング内径の両端を面取りし、液溜まりを抑えて流れをなめらかにしたタイプです。

最高使用温度
200℃
適用チューブ
φ3mm〜φ25mm、φ1/4″〜φ1″
施工
専用治具でリング挿入

溶着

70シリーズ

差し込んだチューブを全周で溶着し、芯ずれを起こさずに接続します。溶着内面のビードを抑えた仕上がりで、流れを乱しません。定期的なリークチェックや増し締めが不要になるため、配管の保守にかける手間を減らしたいラインに合う方式でしょう。専用の全自動溶着機は持ち運べる大きさで、装置の中での施工にも対応しています。

施工
専用の全自動溶着機

管用テーパーねじ

50シリーズ

ねじ接続の機器とチューブ配管をつなぐパイプフィッティングです。ねじはR、RcとNPTの2種類で、材質もPTFEとSUS316の2通りから選択可能。全品が受注生産となるため、価格と納期はその都度メーカーに確認してお伝えします。

材質
PTFE、SUS316
生産
受注生産

継手と組み合わせるPFAやPTFEのフッ素樹脂チューブ、両端に20シリーズ継手を付けたプライアントチューブについても、あわせてご相談ください。

継手を選ぶときに確認する条件

シリーズ選びで手戻りが出るのは、たいてい次の6つのどれかを後回しにしたときです。設計の早い段階で決めておけば、試作後の変更はぐっと減らせるはずです。

  1. 01

    薬液の種類と使用温度

    流体の組成と濃度、温度によって使える方式が絞られます。100℃を超えるラインなら30シリーズと60シリーズは候補から外れ、200℃まで使える20シリーズか230℃まで使える80シリーズの出番です。

  2. 02

    液置換性とパーティクル

    前の薬液が継手の中に残ると、次の工程にそのまま持ち込まれてしまいます。置換性やパーティクルを厳しく見る半導体の薬液ラインでは、フレア継手の60、80シリーズや、内面を平らに仕上げる溶着の70シリーズから検討を始めましょう。

  3. 03

    施工する場所と治具

    スパナだけで済む30シリーズに対し、フレア継手やインナーリング継手は専用治具が要ります。装置内の狭い場所で施工するなら、ハンディタイプの治具や持ち運べる溶着機が使えるかまで確かめておくと安心です。

  4. 04

    チューブの外径とミリ、インチ規格

    既存の配管がミリ規格かインチ規格かを最初に確認してください。30シリーズはミリ近似のインチと共用できるものの、対応するサイズの範囲はシリーズごとに違います。

  5. 05

    使用圧力

    フッ素樹脂継手の最高使用圧力は、チューブ径と温度の組み合わせで決まります。温度だけ、圧力だけを伝えると判断がずれるため、両方をセットでお知らせいただくのが確実です。

  6. 06

    保守の頻度と増し締め

    定期点検で増し締めをしている配管なら、その作業ごとなくせる方式があります。増し締めの要らない60シリーズや溶着の70シリーズに替えると、点検の項目そのものを減らせるでしょう。

Strength

Strength

継手から先の配管まで
通しで

創業50年以上、複数メーカーの流体制御製品を横断して扱ってきました。継手だけを耐食品にしても、つながる電磁弁やレギュレータが条件に届かなければ、配管としては機能しません。接液部を通しで見たうえで、組み合わせを提案いたします。

他メーカーからの置き換え
現在お使いの継手の型番とチューブ外径をお知らせください。照合の順番は接続方式、サイズ、使用温度。同等品が無い場合も、その理由まで説明いたします。
周辺機器との組み合わせ
電磁弁、ポンプ、レギュレータ、フローメーターも取り扱っています。流体と配管の条件を一度伝えていただくだけで、継手とあわせた一括の選定が可能です。
受注生産品の手配
50シリーズのような受注生産品は、メーカーに価格と納期を確認してから回答します。必要時期が決まっている場合は、お問い合わせの際に添えてください。

型番が決まっていなくても
構いません

薬液名と温度、チューブ外径の3点をお知らせいただければ、
合うシリーズをご提案いたします。
型番が決まっている場合は、
そのままご指定のうえお問い合わせください。

用途ごとに求められる条件

同じフッ素樹脂継手でも、組み込む装置が変われば優先する条件も入れ替わるものです。

半導体製造装置

半導体製造装置

CMPスラリーやフォトレジスト、エッチング液を扱うラインでは、継手内の液溜まりや涙漏れが歩留まりに響きます。フレア継手や溶着継手を軸に、置換性とパーティクル対策を優先した選定が基本です。

分析機器

分析機器

微量の試薬や検体を切り替える流路では、前の液が残らないことが測定値の安定に直結します。細いチューブを多用する装置なら、極細径に対応した30シリーズが候補です。

理化学機器

理化学機器

研究の現場では、実験ごとに扱う薬液が変わることもあるはずです。耐薬品性の幅が広いフッ素樹脂で配管を揃えておけば、流体を変えるたびに継手を見直す手間がかかりません。

医療機器

医療機器

組立工程に入る部品は、清浄な状態で届くことが前提です。クリーンルームで超純水洗浄して包装された30シリーズなら、受け入れ後の洗浄にかかる手間を抑えられます。

型番が決まっていなくても
構いません

薬液名と温度、チューブ外径の3点をお知らせいただければ、
合うシリーズをご提案いたします。
型番が決まっている場合は、
そのままご指定のうえお問い合わせください。

相談前に用意いただくと
回答が早い情報

分かる範囲で構いません。埋まっている項目が多いほど、やり取りの回数が減ります。

製品と用途

  • メーカー名と型番
  • 新規採用か、既存品からの置き換えか
  • 組み込む装置と、配管内での位置
  • 必要数量と必要時期

流体と配管の条件

  • 薬液名と濃度
  • 流体温度と使用圧力
  • チューブの材質と外径、ミリかインチか
  • 施工する場所と、使える治具の有無
  • 図面や配管図の添付

フッ素樹脂継手のよくある質問

Q

型番が決まっていない状態でも相談できますか。

A

薬液名と温度、チューブ外径が分かれば、候補となるシリーズを挙げられます。未定の項目は打合せの中で詰めていきましょう。

Q

他メーカーの継手から置き換えられますか。

A

現在の型番とチューブ外径、使用条件をお送りください。接続方式とサイズを照合し、同等品が無ければその理由もお伝えします。

Q

インチ規格のチューブにも使えますか。

A

30シリーズはミリ近似のインチと共用でき、たとえば6ミリと1/4インチを同じ継手で接続可能です。ほかのシリーズにもインチサイズがあるため、外径を添えてご相談ください。

Q

100℃を超える薬液ラインにはどのシリーズが使えますか。

A

最高使用温度が200℃の20シリーズと、230℃の80シリーズが候補です。使用圧力も温度によって変わるので、両方の条件をあわせてお知らせください。

Q

50シリーズの納期はどのくらいですか。

A

全品が受注生産のため、価格と納期はそのつどメーカーに確認して回答いたします。数量と必要時期を添えてお問い合わせいただくとスムーズです。

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